SLZF270A热蒸发设备
该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、电控系统、配气系统等部分组成。
技术要求：
1、真空度：镀膜室的极限真空≤8×10-5Pa；
2、系统漏率≤1×10-10PaL/s。
3、蒸发源2个，1台蒸发电源，可切换两个蒸发源， 功率1Kw。
4、样品架可放置大小为Φ120mm的样品，载玻片；
5、抽速 40分钟 8x10-4Pa；
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SLZF270A热蒸发设备 该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、电控系统、配气系统等部分组成
SLZF270A热蒸发设备
该设备主要由有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、电控系统、配气系统等部分组成。
技术要求：
1、真空度：镀膜室的极限真空≤8×10-5Pa；
2、系统漏率≤1×10-10PaL/s。
3、蒸发源2个，1台蒸发电源，可切换两个蒸发源， 功率1Kw。
4、样品架可放置大小为Φ120mm的样品，载玻片；
5、抽速 40分钟 8x10-4Pa；
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