双源电阻热蒸发设备
型号:SLZF270A
该设备是一台高真空电阻蒸发设备 可蒸镀 熔点1300度以下金属 膜厚：100-400NM；均匀性好于10%.
尺寸：直径270mm 高300
结构：上开盖 蒸发舟在下 样品架在上 前面安装观察窗
设备配置：
名称 | 数量 | 型号/性能 |
真空室 | 1 | 直径270mmX300mm |
蒸发电源 | 1 | SL1000（1000w） |
蒸发源 | 2 | 5mm |
样品架 | 1 | 100mm（直径100mm） |
复合真空计 | 1 | 5227（大气--1X10-5Pa） |
分子泵 | 1 | 300L/s |
旋片机械泵 | 1 | 4L/s |
前级阀 | 1 | KF25 |
真空操作系统 | 1 | SL10A |
设备性能：
极限真空度 好于 9X10-5Pa
抽速 8x10-4 好于20分钟
蒸发温度 1300度
膜厚 100-400NM
均匀性 好于10%.
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