手套箱蒸发镀膜机联合系统技术参数

1. 镀膜室：尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，后门为侧开门；镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接

2. 手套箱：提供器件构筑的无水无氧环境

   2.1 标准单面双工位手套箱

   2.2 箱体尺寸长≥2400 mm，宽（深）≥750 mm，高≥900 mm，箱体材质为304不锈钢，厚度≥3mm

   2.3 透明安全钢化玻璃视窗（前面），厚度≥8mm；手套口均为高品质铝合金

   2.4 四只丁基橡胶手套

   2.5真空泵，抽速≥12 m3/h

   2.6 配备进口氧分析仪（测量范围：0-1000 ppm，精度0.2 ppm）和进口水分析仪

   2.7 配备冷阱，铜触媒≥ 5 kg，分子筛≥5 kg

   2. 8 配备有机溶剂去除系统

   2. 9 水氧指标≤1 ppm

   2.10 泄漏率<0.001Vol%/h

   2.11高性能循环风机和控制柜

3. 复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，“两低一高"数显复合真空计；

   3.1极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)

   3.2抽速：从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min；

   3.3设备升压率：≤0.8Pa/h；

4. 设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；

5. 基片台：抽屉式结构，承载小于120×120mm基片；配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；手动升降，升降基片台可调节范围70mm；定制符合要求的掩膜板1套；

6. 基片台加热：加热温度：300℃，PID智能温控闭环控制；

7. 蒸发源：金属源：水冷铜电极2套；逆变式蒸发电源：功率3kW；2台（1台电源可切换不同蒸发源）；有机源：2套；蒸发源配气动挡板及源间防污隔板；

8. 膜厚控制系统：晶振膜厚仪在线监测、控制终厚；单探头，配备原装晶振片一盒

9. 控制方式：采用PLC+触摸屏半自动控制；

10. 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；