1. 溅射室极限真空度：≤6.6×10-5 Pa
2. 系统真空检漏漏率：≤5.0×10-8Pa.l/S
3. 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到6.6×10-3 Pa；
4. 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa
5. 溅射真空室1套，立式上开盖结构，尺寸不小于Ф300mm×300mm，不锈钢+石英结构，不锈钢表面进行电化学抛光，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封，腔体内有照明系统
沈阳思联真空设备有限公司
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1.溅射室极限真空度：≤6.6×10-5Pa 2.系统真空检漏漏率：≤5.0×10-8Pa.l/S 3.系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到6.6×10-3Pa
1. 溅射室极限真空度：≤6.6×10-5 Pa
2. 系统真空检漏漏率：≤5.0×10-8Pa.l/S
3. 系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到6.6×10-3 Pa；
4. 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa
5. 溅射真空室1套，立式上开盖结构，尺寸不小于Ф300mm×300mm，不锈钢+石英结构，不锈钢表面进行电化学抛光，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封，腔体内有照明系统
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