XYZ双驱直线电机平台
1)直线电机平台爲双驱龙门式结构，共六轴，下轴定义爲Y1＆Y2轴，横轴定义为Y轴，横梁定义爲X轴，垂直轴定义爲Z轴，旋转轴定义为U轴，ACS控制。
2)Z轴使用线性模块，规格爲KL100-L20-S200-BD-Y400W,配光栅尺。大理石为00级
长宽高：1350*1102*153mm(标准为1350*1102*150mm)
左右立柱高:370mm(标准为370mm)
XYZ双驱直线电机平台技术参数
| | Y轴 | X轴 | Z轴 | U轴 |
| 类型 | 直线电机 | 直线电机 | 线性横线 | DD马达 |
| 有效行程 | 550mm | 750mm | 200mm | |
| 速度 | 0.8m/s | 0.8m/s | 0.5mm/s | |
| 加速度 | 10m/s^2 | 10m/s^2 | 3m/s^2 | |
| 重复定位精度 | ±0.3μm | ±0.5μm | ±3μm | 0.5m/s |
| 光柵尺分辨率 | 0.5μm | 0.5μm | 1μm | |
XYZ双驱直线电机平台各运动部分运动灵活、平稳、可靠、无卡滞现象，无异常噪音，高速无明显震动，低速无爬行现象
XYZ双驱直线电机平台应用
激光行业：激光切割、激光雕刻、激光打标
半导体行业：晶圆检测与探测、半导体固晶机、半导体金线焊线机、集成块检测与探测、高速取放与传送设备等
尊敬的客户，为保障您的项目成功率，以及您的利益，请尽量让我们配合你们选型，因为您最了解您的项目要求，而我们最了解我们直线电机的性能，所以两者结合才能确保选型无误，您可以在线客户联络我们为您选型。
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