TLM2-T212T222直线电机平台是由 XY轴直线电机组合 垂直度±5，重现精度±0.002mm,
·直线电机具有等高速度高精度高加减速特性，直接驱动无背隙，维护低；
·本体为铝合金一体加工成型，组合精度高；
·直线电机模组内置可靠防撞设计，防止因碰撞导致的电机损坏；
·使用日本THK 高级导轨，精度高、刚性高、噪音小、寿命长；
·使用英国Renishaw 光栅尺，稳定可靠，精度高；
·直线电机具有等高速度高精度高加减速特性，直接驱动无背隙，维护低；
·本体为铝合金一体加工成型，组合精度高；
·直线电机模组内置可靠防撞设计，防止因碰撞导致的电机损坏；
·使用日本THK 高级导轨，精度高、刚性高、噪音小、寿命长；
·使用英国Renishaw 光栅尺，稳定可靠，精度高；
·内置Renishaw 原点，并配备光电式极限开关；
·使用以色列Servotronix 驱动器，响应频率高、功能强大、稳定性强。
TLM2-T212T222XY轴直线电机平台尺寸图
XY轴直线电机平台技术参数（仅供参考）
| 有效行程 （mm） | 总长度 （mm） | L1 (mm) | L2 (mm) | N | X轴移动部重量 （kg） | Y轴移动部重量 (kg) | XY平台总重量 （kg） | ||
| X轴 | Y轴 | LX | LY | ||||||
| 100 | 100 | 430 | 460 | 28 | 99 | 4 | 5.5 | 16 | 42 |
| 100 | 200 | 430 | 560 | 28 | 99 | 5 | 16 | 44 | |
| 200 | 200 | 530 | 560 | 28 | 149 | 5 | 18 | 46 | |
| 100 | 300 | 430 | 660 | 28 | 99 | 6 | 16 | 46 | |
| 200 | 300 | 530 | 660 | 28 | 149 | 6 | 18 | 48 | |
| 300 | 300 | 630 | 660 | 28 | 199 | 6 | 20 | 50 | |
| 100 | 400 | 430 | 760 | 28 | 99 | 7 | 16 | 48 | |
| 200 | 400 | 530 | 760 | 28 | 149 | 7 | 18 | 50 | |
| 300 | 400 | 630 | 760 | 28 | 199 | 7 | 20 | 52 | |
在微米工程等级的应用以及晶圆设备中尤其重视精度及洁净室适用性。采用高精度XY直线电机平台为。
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