飞秒光纤光栅_FSD：专注于飞秒激光在多种硬脆体材料中的高精度图形化加工。具备三维矢量路径全行程速度、能量实时调制加工能力。具备加工光斑整形能力，支持通过导入任意图形进行材料表面或内部的三维与二维加工。
飞秒激光器：
1）平均功率：20W/10W/6W
2）重复频率：1Hz~1MHz可调
3）最小脉冲宽度：＜300fs
4）最大单脉冲能量：200μJ@1KHz，1030nm（其他模式可选配）
5）中心波长：1030nm
6）二倍频输出波长：515nm
7）三倍频输出波长：343nm（选配）
光学系统：
1）能量调节器：调节范围覆盖0.5%~99%
2）照明模块：反射科勒照明/透射科勒照明
3）成像相机：大于500万像素
4）物镜：60×浸油物镜，20×空气物镜。（其他物镜可选配）
5）选配功能模块：扫描振镜，空间光调制器，焦面自动跟踪模块，二维电动狭缝
多功能工件台：
1）三点式二维调平：单点调节范围≥5mm； 单点调节分辨率≤50nm
2）大面积样品加工工位：透明玻璃吸附台，支持4英寸样品加工
3）光纤光栅加工工位：有效加工范围，大于10mm
4）选配功能模块：光纤旋转器，光纤应力监测器
高精度位移台：
1)X/Y/Z三轴行程：≥200mm×200mm×20mm
2）X/Y/Z轴定位精度：≤±300nm
3）X/Y/Z轴双向重复精度：≤±100nm
4）最大位移速度：≥100mm/s（X/Y轴），≥50mm/s（Z轴）
