双光子聚合_MPD:真三维无掩膜光刻,可实现高自由度纳米级三维结构制造,最小特征尺寸可达50nm。为多个领域的研究发展提供优良的高精度、三维制造解决方案,应用领域包含但不限于微纳光学器件、微/纳流控芯片、片上光互联、微机械等。
双光子聚合多领域兼容,拓展微纳制造应用边界
1.衬底与材料广泛适配
衬底兼容性:支持硅、玻璃、蓝宝石、金属、石英等常规衬底,以及光纤端面等特殊场景,通过吸附台、夹持、磁吸等多种固定模式满足不同加工需求。
材料多元性:兼容自研光刻胶及第三方材料,还可加工生物兼容性水凝胶、前驱体光刻胶,覆盖生物医疗、光学器件、工业母模等领域。
2.跨领域应用场景
微纳光学:制造超表面、菲涅尔透镜、透镜组、微透镜阵列等,助力光通信、AR/VR显示技术升级。
光纤传感:定制光纤端面结构(如透镜、微腔传感器),推动光纤传感技术微型化发展。
生物医疗:制作细胞支架、纳米光栅等,支持组织工程与精准医疗。
特殊结构:制备超材料、多孔仿生结构、反光材料工业母模,甚至微缩艺术结构。
双光子聚合智能化功能集成,提升加工效率与稳定性
1.多样化调控与智能策略
加工参数灵活调整:支持焦斑/像差调控、动态焦斑调控、自适应层切功能,可根据结构需求优化加工路径。
智能加工模式:提供轮廓/壳层填充、任意/自定义序列模式、矢量加工模式,结合脚本功能实现批量加工与流程标准化,效率提升显著。
2.高精度环境控制
超大行程与稳定系统:XYZ位移台行程,满足大尺寸器件加工需求;配备高精度温度控制系统及多级主动/被动隔振系统,隔绝环境干扰,确保加工稳定性。
实时监控与反馈:集成3D共聚焦与三维对准技术,实现层间精准衔接,避免累积误差。