平价替代Filmetrics方案
这是一款桌面式手动膜厚测量分析系统（
平价替代Filmetrics方案）。在保证整体小巧轻盈的同时，其准确度和稳定性丝毫未减。拥有NanoSense系列所有的算法软件功能，性价比高。
一、核心原理
NS-20 光学纳米级测厚仪垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面，在各膜层之间产生光学干涉现象，反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。适合测量纳米级至微米级的透明或半透明膜层的厚度、反射率、折射率等参数。
二、产品特色
1、测量范围：可测量1纳米到250微米的薄膜厚度、折射率、反射率。
2、非接触测量：可测量硬质材料、软质材料或表面易受损的样品。
3、高精度，高稳定性：亚纳米级厚度测量精度，静态稳定性可达0.02纳米。
4、多层膜测量能力：可以测量多层复合薄膜各层的厚度。
5、智能化算法：核心IP算法，一键式测量大跨度膜厚，极大简化测量流程。
6、特色软件功能：自研PolarX分析软件，包含配方预测验证、特殊材料捏合等功能。
三、工作原理
光学干涉法
通过白光或单色光照射样品表面，利用反射光与参考光的干涉条纹计算膜厚。
适用场景：透明或半透明薄膜（如SiO?、ITO），可同时测量多层膜。
椭圆偏振光谱法（椭偏仪）
测量偏振光经薄膜反射后的相位和振幅变化，反推膜厚及光学常数。
优势：非破坏性，适合超薄薄膜（纳米级）和复杂材料体系。
激光共聚焦显微镜
通过聚焦激光束扫描样品表面，结合荧光标记或反射信号定位界面。
适用场景：不透明材料或需要三维形貌分析的场景。
接触式探针法
使用金刚石探针划过薄膜表面，通过位移传感器测量台阶高度差。
局限：可能损伤软质薄膜，需预处理样品表面。
