国产膜厚仪替代Filmetrics在膜厚测量的基础上迭加自动测样载台，能够对设置好的点位进行自动测量，并进一步生成2D和3D的资料分布图，适用于晶圆膜厚测量。
垂直入射的高稳定宽波段光入射到样品表面，在各膜层之间产生光学干涉现象，反射光经过光谱分析以及回归算法可计算出薄膜各层的厚度。适合测量纳米级至微米级的透明或半透明膜层的厚度、反射率、折射率等参数。
非接触桌面式自动 薄膜膜厚测厚仪核心功能
二、特色
1、测量范围：可测量1纳米到250微米的薄膜厚度、折射率、反射率。
2、非接触测量：可测量硬质材料、软质材料或表面易受损的样品。
3、高精度，高稳定性：亚纳米级厚度测量精度，静态稳定性可达0.02纳米。
4、多层膜测量能力：可以测量多层复合薄膜各层的厚度。
5、智能化算法：核心IP算法，一键式测量大跨度膜厚，极大简化测量流程。
6、特色软件功能：自研PolarX分析软件，包含配方预测验证、特殊材料捏合等功能。
三、特别说明
1、样品自动测量，平台尺寸100mm~450mm可选
2、软件根据需求自动生成测量点位分布
3、2D和3D测绘效果，包含厚度/折射率/反射率等信息
4、可测量薄膜应力和表面弯曲（Stress/Bow)
