XD603系列压电纳米定位台是一维X向运动压电平台，平台采用抗振动设计，内置高可靠性压电陶瓷，无摩擦柔性铰链导向机构，具有分辨率高、行程大等特点。

特性

一维X轴运动

行程范围可达±165μm

抗振动设计

高低温版本

闭环精度高

大行程、高可靠性、高稳定性

XD603为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台，可以实现±165μm的位移行程，优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。

闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与E70系列控制器配套使用，具有高稳定性。

技术参数

型号：XD603

运动自由度：X

行程范围（0~120V）：±130μm

行程范围（0~150V）：±165μm

闭环传感器：SGS

闭/开环分辨率：12/5nm

闭环线性度：0.1%F.S.

闭环重复定位精度：0.04%F.S.

俯仰/偏航/滚动：1μrad

推/拉力：300/30N

运动方向刚度：1.2N/μm

空载谐振频率：490Hz

闭/开环空载阶跃时间：80/40ms

承载能力：0.6kg

静电容量：24.6μF

工作温度：-40~+80℃

抗振设计：半正弦15g，11ms

后峰锯齿波20g，11ms

材质：钢、铝

重量：950g

推荐控制器

XD603系列压电位移台，可搭配芯明天E70系列压电控制器使用，模拟与数字控制，体积小巧，高性能搭配。