EddyCus TF inline在线电阻率监测系统

EddyCus TF inline在线电阻率监测系统一款适合薄膜电阻率在线监测，动态检测产品质量，实时测量产线上薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的解决方案。

特点

参数

薄膜电阻（欧姆/平方）
金属层厚度（nm、μm）
金属基板厚度（μm）
各向异性
缺陷
完整性评定

应用
建筑玻璃（LowE）
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料

材料
金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨
打印薄膜
导电聚合物（PEDOT:PSS）
其他导电薄膜及材料

规格参数
薄膜电阻测量技术：非接触式涡流传感器
基板：例如：薄膜、玻璃、晶圆，等等
测量间隙尺寸：5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
传感器对数/监控线数：1 - 99
传感器尺寸(W x L x H)：
M型传感器：80 x 100 x 66 mm
S型传感器：34 x 48 x 117 mm
导电层：金属/ TCOs/ CNTs/纳米线/石墨烯/栅格/ PEDOT/其它

薄膜电阻的范围：
低 0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
标准 0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
高 10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精度
金属膜的厚度测量（例如：铝、银、钼、银浆）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
其它集成的测量：金属厚度/光透明性/密度/电性各向异性
环境：在真空外/在真空内@ T < 60°C / 140°F (根据要求<90°C / 194°F)
采样率：1 / 10 / 50 / 100 / 1,000次测量每秒
硬件触发：5, 12, 24 V
界面：UDP、DOTNet libraries、TCP、Modbus、模拟/数字