温度范围：100 – 700°C
硅片直径：3 – 12″ (300mm)
尺寸：990 (W) × 1030 (D) × 1900 (H) mm
接触材料：石英玻璃
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● 可对完整的硅片测量（*大可达直径30cm）。● 使用毛细管柱分析，可以此性测量多种有机化合物。● 可检测pg/cm2（硅片表面）的微量有机化合物。● 符合国家标准GBT 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物● 符合国际标准ＳＥＭＩＭF1982-99，SEMI MF1982-1103
温度范围：100 – 700°C
硅片直径：3 – 12″ (300mm)
尺寸：990 (W) × 1030 (D) × 1900 (H) mm
接触材料：石英玻璃
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