日本三丰轮廓仪-无锡微准科技有限公司

完善的高精度轮廓测量仪

• CV-3200/4500 系列是在Z1 轴(检出器) 上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂的轮廓测量仪。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹，以实现高精度和高分辨力。与传统型号相比，新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm 同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件，单此接触就能完成测臂的装卸，提高了易用性。

• 专为CV-4500 系列增加了以下两大特性：

(1) 装配双面测针，实现垂直方向(上/下) 连续测量，所获取的数据实现简单分析以往难以测量的内螺纹有效直径。

(2) 测力可在FORMTRACEPAK 软件中设置。无需调整配重位置。

产品参数规格：

货号			CV-3200S4	CV-3200H4	CV-3200W4	CV-3200S8	CV-3200H8	CV-3200W8
			CV-4500S4	CV-4500H4	CV-4500W4	CV-4500S8	CV-4500H8	CV-4500W8
测量范围	X 轴		100mm			200mm
	Z1 轴(检出器)		60mm (水平位置±30mm)
Z2 轴 (立柱) 移动范围			300mm	500mm		300mm	500mm
Z1 轴 (检出器)	光栅尺类型		弧形
	分辨力		CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm
	测针上/ 下运作		弧形移动
	测量方向		向前/ 向后
	测针方向		CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下单独测量) CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根据配重调整)
	测力		CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量) CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换)
	跟踪角度		向上: 77º, 向下: 83º(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针*1)
驱动部	长度基准	X 轴	激光全息光栅尺
		Z2 轴 (立柱)	ABS 光栅尺
	分辨力	X 轴	0.05 µm
		Z2 轴 (立柱)	1 µm
	驱动速度	X 轴	0 - 80mm/s 外加手动
		Z2 轴 (立柱)	0 - 30mm/s 外加手动
	测量速度	X 轴	0.02 - 5mm/s
	直线度*2	X 轴	0.8µm/100mm			2µm/200mm
	倾角范围	X 轴	±45º
精度 (20ºC)	CV-3200 系列	X 轴	±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm			±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm
		Z1 轴(检出器)	±(1.6+\|2H\|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm)
	CV-4500 系列	X 轴	±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm			±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm
		Z1 轴(检出器)	±(0.8+\|2H\|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm)
外形尺寸 (W×D×H)		主机*3	756×482x 966mm	756×482x 1166mm	1156×482 x1176mm	766×482 x966mm	766×482 x1166mm	1166×482 x1176mm
重量		主机	140kg	150kg	220kg	140kg	150kg	220kg