预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)
优缺点比较：
采用反渗透作预处理再配上EDI装置，这是目前制取超纯水*经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行zs便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵
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常用工艺流程：预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(15M.CM)(新工艺)优缺点比较：采用反渗透作预处理再配上EDI装置，这是目前制取超纯水*经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行zs便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性
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