超纯水是将水中的导电介质去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物去除至低程度的水。

超纯水是其他工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，过滤、离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法。

应用范围：单/多晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、 液晶显示器、导电玻璃、电池、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器、洁净产品及各种元器件等 。