1.芯明天二维θxθy向压电偏摆台
特性
• θx, θy偏摆运动，zui大偏转角度±1.1mrad/轴 • 开环/闭环可选择 • 80×80mm大通孔
• 分辨率高 • 外形超薄
2.芯明天二维θxθy向压电偏摆台
外观形状 | 产品运动示意图 | 闭环曲线 |
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闭环传感精度高 | 频率负载曲线 | 应用实例-激光合束/军事激光 | |
P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使角度偏移达到zui小，无空回、无摩擦。 采用压电陶瓷驱动实现zui大偏转范围±1.1mrad，分辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。 台体非常薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为80×80mm，P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的选择。 |
| P54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用 于军事激光等领域。
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负载大镜片 | 驱动方式 |
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P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。 |
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校准调测 | 震动实验 |
3.二维θxθy向压电偏摆台驱动方式
P54压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。
应用
• 光束扫描 • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉/计量 • 空间扰动模拟系统 • 光路调整 • 掩模与晶片位置调整 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析
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