▲ 8" 晶圆上方的喷头和瞄准的显微镜

在150°C以上的温度下运行，对于压电系统通常被认为是不可行的。但是，MicroFab已开发出在240°C的温度下无限期运行压电需求模式喷墨设备的能力，在320°C的温度下持续数天，并在370°C的温度下短暂运行。设备构造和运行期间使用的驱动波形对于此功能都至关重要。在高温下操作允许使用需求模式喷墨技术分配高粘度聚合物、焊料和其他材料。上图显示了一个设计用于在370°C下运行的喷头，安装在一个系统上，该系统专为沉积在硅和砷化镓晶片上而设计。该系统能够将惰性气体注入喷射装置周围并注入正在打印的局部区域。^[1] 

[1] Wallace D B ,  Hayes D J . Micro-Printing System for MEMS Packaging Using Nano-Structured Materials[J]. Nanoengineering World Forum, 2003.

_______________________________________________________________________________________________________________________

p.s.为保持服务的专业性及稳定性，MicroFab睿度光电为国内代理及服务商，烦请通过以下方式与我司联系。咨询邮箱：service，总部电话：+86-21-。非常感谢您的关注，期盼与您合作并探索更多可能。