ASI公司小型电动载物台MS-2000 XYZ 电动载物台
主要特点: 1、闭环DC伺服电动机 XYZ载物台保证精准定位和高的聚焦重复性 2、XY操纵杆广泛的动态速度范围 3、利用ASI's Z-轴驱动 4、Z-轴离合器方便转换手动电动聚焦控制 5、LCD显示XYZ的配合 6、"Zero" 和 "Home" 按钮方便独立操作 7、控制范围
技术指标:
XY移动范围 | Upright: 100 mm x 100 mm |
Inverted: 114 mm x 90 mm | |
XY 轴分辨率 | 0.088 µm |
XY 轴RMS可重复性 | < 0.8 µm (typical) |
XY 轴zui大速率 | 7 mm/sec |
Z 轴分辨率 | 0.05 µm |
Z 轴可重复性 | ± 0.1 µm (typical) |
Z 轴zui大速率 | 0.6 mm/sec |
MS-2000 Options
- 为高精度定位和聚焦控制配备的X, Y, & Z 轴线性编码器
- 大的载物台顶板,方便显微操作
- 载物台附加侧板,增大空间
- CRIFF 持续反馈聚焦系统,专为长时间聚焦
- 其他可选螺杆
可选螺杆
Lead Screw Pitch Options | Rotary Encoder Resolution | Maximum Speed |
12.70 mm (Super-coarse) | 176 nm | 14 mm/sec |
6.35 mm (Standard) | 88 nm | 7 mm/sec |
1.57 mm (Fine) | 22 nm | 1.75 mm/sec |
0.318 mm (Ultra-fine) | 4.4 nm | 0.35 mm/sec |
- Standard Lead Screw Accuracy is 0.25 µm per mm.
可选的线性编码器
Axis | Scale Resolution | Scale Accuracy |
XY | 20 nm | 0.5 µm per 10 mm |
Z (12 mm and 25 mm stroke) | 50 nm | 0.03 µm per mm |
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