EBARA荏原ESP-7型压力传感器

■  特点

●由于使用了扩散型半导体传感器，因此具有的可靠性和耐用性。

●受压部使用SUS316L不锈钢。

●即使在50kPa或更低的低压下也具有的稳定性。

●除空气，水，油等外，它还可用于多种测量。

●我们主要生产ESP-7型传感器，并生产多种应用产品，例如隔膜型和卫生型，适合食品，化学药品和制药等各种应用。

压力传感器的内部结构

工作原理

■工作原理

流体压力首先由不锈钢隔膜1接收。

压力通过封闭在内部的硅油（2）传输到扩散型半导体传感器，而不会造成压力损失。

在扩散型半导体压力传感器中，将硅基板⑥接合至玻璃台架⑨，并且将其部蚀刻成薄的隔膜形状。

传递的压力使隔膜变形，并改变上部形成的压电电阻计⑦。

压电电阻计由小电流驱动，并通过焊线⑤输出与压力成比例的电信号。

电信号由内部电路板的放大电路部分放大，并作为由调节器调节的信号输出，作为4至20 mA的电流输出或1至5V的电压输出。

由于扩散型半导体压力传感器会因温度变化而导致输出变化较大，因此我们的压力传感器会根据其各自的特性进行温度补偿。 

传感器内部结构

压力单位对照表

SI单位/旧单位指南/压力类型