这款菲索干涉仪 (Fizeau interferometer)是为光学镜片平整度测量而研发的菲佐干涉仪,配套干涉仪软件可处理带有额外倾斜的干涉图。
菲索干涉仪规格
?输入孔径：10~95mm（可选300mm）
?工作频率：高达25Hz
?测量精度：μm（P-V）
?测量像差的P-V值：高达5μm
?光源：二极管激光器
?光源波长：μm
?成像：Firewire CCD相机
菲索干涉仪软件功能
?允许处理真实图像和另存为.bmp图像
?该处理方法的精度约为λ/400
?结果以Zernike多项式系数、P-V和RMS值表示，并以2D和3D表示相位分布
为了获得关于被测表面的信息，我们打算在x方向引入倾斜，并获得8到60条干涉条纹，处理包括：
?干涉图图像注册（或从.bmp文件加载）
?确定感兴趣区域
?过滤。它允许排除假极值
?找到极限
?基于极值坐标的相位表示；通过Zernike多项式分解，P-V，RMS和PSF计算
菲索干涉仪软件功能展示
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