这款纳米升降台是美国nutec的短行程的Elevator Stage,纳米升降定位台,特别适合竖直的Z轴升降定位应用,它具有的垂直升降定位功能,超高分辨率,超高重复精度和机械稳定性。
纳米升降台产品特色:
这款纳米升降台采用高密度交叉滚珠导向系统用于竖直导向,确保的稳定性。单立柱式的X滚珠导向系统提供了适度的高刚性,使得这款纳米定位台具有极小的滞后和相当大的承载能力。
纳米升降台应用:
这款纳米定位台比较适合对Z轴垂直升降精度较高要求的应用。比如,光学成像系统中焦平面的准直,半导体测试,视频测量等。
纳米升降台参数
行程:4mm
驱动系统:无刷伺服-丝杆驱动
速度:20mm/s
负载;10kg
TTL分辨率:100nm, 50nm, 25nm, , 10nm, 1nm
重复精度:5x分辨率
纳米升降台,纳米升降平台由中国的进口光学精密仪器旗舰型服务商-孚光精仪进口销售,精通光学,服务科学,先后为北京大学,中科院上海光机所,中国工程物理研究院,航天3院,哈工大,南开,山东大学等单位提供进口的纳米升降台,纳米升降平台,精密升降台。
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