MX61A是一款专门设计的半导体显微镜,可使操作人员以正确的人体工程学姿势进行操作,有利于操作人员在长时间的工作中顺利进行检测,保证了工作的效率和产品一体化。
始终提供观察影像的光学系统
强大的缺陷检查能力
采用了新颖的光学系统(UIS2),特别增强了明视场、暗视场的性能,从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温化,实现了容易误检的中性颜色的再现,暗视场图像的亮度约提高了四倍(与本公司原有产品比较)。
明视场观察
新暗视场观察
传统的暗视场观察
自动调节亮度
亮度光圈调节示意图
对应各种设备的实时AF
深紫外线观察用物镜
对应多种观察方法
物镜UIS2系列产品
观察方法的切换非常简单,只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。
明视场观察
暗视场观察
微分干涉观察
荧光观察
近红外线观察(左)和可见光线观察(右)的比较
提供扩展性的解决方案
提供扩展性的解决方案
适应分析需求的Analysis-Engine(分析引擎)模块
实现对人和环境都没有危害的自动化
符合SEMI S2/S8标准
符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有关安全的基准),S8-0705(有关人体工程学的基准)和CE标识(欧洲强制性认证)等的国际标准。符合人体工程学和安全对策等,高水准的确保了可靠性。
可选的倾斜观察筒
倾斜观察筒示意图
洁净对应的电动物镜转换器
洁净对应的电动物镜转换器
6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器,采用了新型马达,实现了高速安静的倍率转换。
高抗振本体
高倍率观察图像示意图
可以触摸屏操作的手控开关
手控开关操作部
帮助实现多种观察的附件
晶圆搬送机组合
晶圆搬送机
自动载物台组合
自动载物台
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