电子级精馏塔|菏泽鲁齐天实验仪器设备有限公司

SEMI 标准电子级精馏塔是严格遵循国际半导体材料与设备协会纯度规范打造的特种精制设备，专门适配半导体行业对湿电子化学品的超严苛杂质要求，是优良制程芯片生产配套高纯试剂的核心合规装备。SEMI 标准对电子级化学品的金属离子、微颗粒、可萃取杂质有明确分级要求，从 G1 到 G5 对应杂质含量从 ppm 级到 ppt 级，普通工业精馏塔无法满足该标准的严苛控制要求，该设备从设计、选材到生产全流程对标 SEMI 规范。

设备所有接触物料、蒸汽的过流部件全部采用高纯熔融石英、食品级 PFA/PTFE 氟塑料，全程无不锈钢、碳钢等金属构件，从根源杜绝重金属离子析出污染；可根据介质特性适配两种工艺路线：针对氢fu酸、硝酸等强腐蚀高纯酸采用亚沸低温表层汽化工艺，全程无沸腾雾沫夹带，金属杂质去除率达 99.99% 以上；针对异丙醇、乙二醇等电子有机溶剂采用精密填料精馏工艺，搭配四氟规整内件强化多组分分离效果。设备标配分区独立 PID 温控、多级密闭冷凝、可调回流比系统，可配套负压真空机组与全程氮气惰性保护回路，搭载全自动控制系统实现连续进料、恒精度采出、自动排残，出厂前全部按 SEMI 标准完成杂质含量、密封性、温控精度全项检测，出具合规检测报告。

SEMI  标准电子级精馏塔区别于普通电子级精馏塔的核心优势是具备半导体供应链合规性，可稳定产出符合 SEMI G1-G5 等级的高纯介质，单塔即可满足 G3 级 ppb 级纯度要求，多塔串联可达到 G5 级 ppt 级超高纯度。可定制实验室小试、中试、工业化量产全规格机型，广泛应用于 12 英寸晶圆清洗试剂、优良制程光刻配套溶剂、高纯蚀刻液生产线，可提供完整合规资质文件，满足半导体厂商供应商审核要求，是半导体高纯湿化学品量产的刚需合规装备。