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显影机-艺微胜科技(上海)有限公司

2026年10月22日 18:17:42      来源:工业之家 >> 进入该公司展台      阅读量:2

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  ▍产品简介

DEV-6LS 桌上型半自动显影机设备专为半导体、光电及精密制造领域设计,提供高精度、高可靠性的样品处理解决方案。其核心特点包括精准的转速控制、PLC智能控制系统以及高效的药液喷洒与清洗功能,能够满足对微米级别精度要求的工艺处理需求。

 

▍技术特点

1.高精度转速控制

桌上型半自动显影机采用交流伺服电机,转速范围为20-3000转/分钟,转速精度达±1转/分钟,确保样品处理过程中的稳定性与高精度要求。

2.PLC智能控制系统
配备触控面板和PLC控制系统,支持手动和自动模式切换,能够根据实际需要灵活设定高达50组配方,每组配方最多支持20步操作。系统提供程序与数据存储功能,提升操作便捷性和数据管理效率。

3.药液分配系统
采用PLC控制的分配臂,能够精准设定臂体位置及操作速度,满足不同工艺需求。药液分配采用高精度喷嘴,配合去离子水清洗喷嘴,确保每次处理的精准性与清洁度。

4.安全保护设计
设备内置真空检测与保护机制,支持数字设定和下限保护,防止液体渗漏,并且在运行结束时提供报警提示,确保操作过程中的安全性。

5.用户友好界面
配备触摸屏,操作简便,且支持多种操作模式,用户可以快速进行设定与调整。

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