颗粒物传感器(Soot)用干测量柴油颗粒过滤器(DPF)后端废气中颗粒物(烟尘)累积颗粒质量来确定DPF的效率。颗粒物传感器位于选择性催化还原(SCR)催化器的管道上，由一个探头和电控模块组成，该模块通过J1939数据链路与动力总成控制模块(PCM)通信并共享信息。探头包含三个内部部件:加热器、温度传感器和一组高电阻的微粒测量电极。 紧凑型传感器设计
传感元与加热器一体化结构使起燃效率大幅提升
配备的电阻温度装置(RTD)元件
允许闭环加热器控制，实现准确的传感器再生
可靠的诊断能力
颗粒污染影响产品品质，半导体制造洁净度要求高
根据国际半导体设备制造商协会 (SEMI) 最近发布的世界晶圆厂预测，超过50%的半导体产量损失可归因于微污染。为了限度地减少良率损失，半导体制造厂必须在洁净室中采用严格的污染控制策略。半导体制造工艺复杂，如何提高产品的成品率对于半导体企业在竞争中保持优势至关重要。影响半导体成品率的因素有很多，其中生产过程中的空气杂质（尘埃颗粒）是不可忽视的因素。由于高密度的集成电路的图形特征尺寸和表面沉积层的厚度都已经降到微米级别，更容易受到微粒的影响，这种微粒附着在半导体表面可能会形成致命的缺陷，导致器件失效。
颗粒物传感器OPC-6510DS采用光学散射原理，可精确检测并计算单位体积内空气中不同粒径的悬浮颗粒物的个数，具有28.3L/min大流量的气体采样速率，可同时输出0.3um、0.5μm、1.0μm、5.0um、10um五个通道的颗粒数(默认单位pcs/28.3L)，广泛应用于百级、千级、万级、十万级等洁净室环境。
· 采用3.5寸触摸屏，实时显示各粒径数量、等级以及报警信息等
· 内置四方光电的尘源智能识别模块，高效粒子识别率，检测精度高
· 内置超声波流量传感器，实现28.3L恒流采样，数据长期稳定性高
· 低噪音涡轮风机采样，连续监测稳定性好，寿命长
· 满足IS014644-1:2015、新版GMP、JF1190-2008、GB/T6167-2007标准
颗粒物传感器
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