原子层沉积设备的系列产品和技术特点

原子层沉积设备的系列产品和技术特点

原子层沉积设备​主要产品系列  

中科艾科米的ALD系统主要分为两大系列，以满足从基础研究到复杂集成的不同需求：  

Atolyze™系列：定位紧凑、灵活，包含Atolyze™-MEDI和Atolyze™-MINI等型号，适合空间有限的实验环境。  

Nexalayer™系列：提供更广泛的基底兼容性，涵盖4英寸、6英寸及8英寸晶圆规格的型号，适合对样品尺寸有不同要求的工艺开发。  

此外，公司也提供型号如ALDO-V401-PRO和ALD-V501-PRO等设备，这些型号可见于高校的采购中标公告中。  

原子层沉积设备核心技术特点  

其ALD设备在硬件设计、控制系统和工艺能力上具备多项共性优势：  

精确的温度控制：反应腔体最高工作温度达400℃，控温精度可达±1℃。系统采用PID自动控温，并集成模糊算法自整定技术，确保工艺的重复性与薄膜质量。前驱体气路同样具备精确控温能力，低温气路为室温至100℃，高温气路可达300℃。  

前驱体处理能力：气路系统设计复杂，最多可支持8种前驱体源、2路氧化/还原气路和3路载气，满足多样化的薄膜生长需求。针对低蒸气压固态源，设备采用了设计独特的高温鼓泡器，以提高反应效率和重复性。  

广泛的样品兼容性：样品类型支持粉体、旗形样品以及最大8英寸的圆形晶圆，并可根据需求定制其他样品类型。  

自动化与安全：采用LabVIEW图形化设计的自动化控制系统，支持用户自行编程实现不同类型的ALD生长工艺。系统集成了安全互锁报警功能，保障设备与操作人员的安全。  

原位分析与系统互联：设备可与超高真空（UHV）系统（如XPS、STM）直接互联，实现样品的原位分析与制备，避免样品在转移过程中受到污染。同时，可选配残余气体分析、等离子体、QCM原位监测、椭偏仪等多种原位检测模块。  

应用领域  

中科艾科米的ALD设备广泛应用于多个前沿科研领域，包括：  

催化：用于金属催化剂的精准设计与反应机理研究。

电子/电气：用于半导体器件和微纳电子的制备。  

新能源材料：用于电池材料、光电材料的开发。  

材料改性：特别是粉体表面包覆与改性，公司在此方向有专门的布局，如“高通量连续型粉体原子层沉积设备”。  

航空航天：用于高性能涂层与防护。