MIYUKI美幸辉面板厂用真空泵介绍
2026年07月01日 17:16:10
来源：工业之家 >> 进入该公司展台
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特征
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01.一个阀门可用于调节主排气和流量。 它有一个子气缸，可以任意设置阀门开度。
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02.气缸虽小，但关闭时推力加倍（安全密封），行程结束时达到气垫效果（减震）。
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03、阀体密封机构采用均匀间隔的压球方式，在反压下具有优良的可靠性。
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04.不锈钢外壳采用砂板材料，采用真空钎焊，消除了内表面的死角，减少了释气。
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05.在洁净室中组装和检查。
规格
| 法兰格式 | JIS、ISO、CF认证 |
| 公称通径 | 70A ~ 500A （毫米） |
泄漏
量（外壳）（
阀座） |
1×10-11 帕·米3/s 以下
1×10-10 帕·米3/s 或更短
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| 使用区域 | 105~10-6 帕 |
| 气体接触材料 | SUS304系列 |
| 轴封 | 氟橡胶O型圈 |
| 驱动系统 | 气动 |
| 工作气压 | 0.4~0.6 MPaG |
| 开/关指示 | 带微动开关（用于打开/关闭每个位置检测） |
* 也可制造特殊规格。
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