氦放电离子化检测器-DID检测器介绍

受益于半导体、显示面板等下游需求的增长以及相关政策的推动，我国电子特气行业不断发展壮大，市场规模持续扩容，这也使得对特气的纯度要求越来越高。氦放电离子化检测器DID气相色谱仪配以特定的气路系统，在特气分析方面将会显现出越来越大的性，为电子特气的发展提供精准的数据支持。

DID检测器属于通用型(除了载气氦气He外，对任何气体均有响应)且灵敏的检测器，检测范围可从十亿分之一(ppb)到2%，广泛应用于ppb级别痕量气体的分析。以下为大家简单讲解一下它的工作原理：

DID检测器工作原理：

DID的主体由上下两个小膛所构成，并由一狭窄小开口连接上下二膛。 一连串分离但相关连的反应都发生于此，并形成气相色谱图。

上膛是放电的区域，超高纯度的氦气充满其中，内有一对相距甚近的球与针状电极，电极两端施以525VDC的高压电，便于电极周遭形成了氦气的环状放电，环状放电的产物。

下膛是分析物的检测区域，称为离子化膛。环状放电的产物经过连接上下二膛的开口，流到检测器极化板，作为分析物被离子化的原子或分子的检测媒介。

经过色谱柱后，载气(氦气)及已被分离的样品，陆续进入并横越过检测器极化板。样品分子及从上膛流下之，经由非弹性碰撞后离子化分析物。所形成的阴阳离子，则被检测器极化板的极化区所收集，并形成电流。电流与样气里面的分析物浓度成正比，从而得到对应的色谱图。

由于DID的电离能量可以达到稳定的24.8eV，因此可以电离包括Ne、Kr、Xe在内的稀有气体