等离子清洗机的清洗原理是在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。
真空等离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔体及相关机械等几个部分构成。应用时可以根据客户的要求定制符合客户需要的真空等离子清洗机。
真空等离子清洗机利用两个电极形成电磁场，用真空泵实现有效的真空度，随着气体越来越稀薄，分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长，受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光。等离子体在电磁场内的空间运动，并不断轰击被处理物体表面，去除表面油污以及表面氧化物、灰化表面有机物以及其它化学物质，以此达到表面处理清洗和刻蚀的效果。
真空离子清洗机广泛应用于表面去污及等离子刻蚀，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序，因此广泛应用于汽车领域、电子领域、电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。
在这种情况下，等离子处理可以产生以下效果：
1、灰化表面有机层
污染物在真空和瞬时高温下的部分蒸发，污染物被高能离子粉碎并被真空带走。
紫外辐射破坏污染物，由于等离子体处理每秒钟只能穿透几纳米，所以污染层不应该太厚。指纹也适用。
2、氧化物去除
这种处理包括使用氢或氢和氩的混合物。有时也采用两步流程。步是用氧气氧化表面5分钟，第二步是用氢和氩的混合物除去氧化层。它也可以同时用几种气体处理。
3、焊接
通常，印刷电路板应在焊接前用化学药剂处理。焊接后，这些化学物质必须用等离子体法去除，否则会引起腐蚀和其他问题。
