2026年06月08日 13:39:59 来源:仪器百科 >> 进入该公司展台 阅读量:6
inficon真空计作为一种高精度的测量设备,在科研、工业生产等领域有着广泛的应用,采用整个陶瓷涂敷的传感器单元用于高腐蚀性的应用,适用于恶劣的工作环境。
inficon真空计的基本工作原理:
1.皮拉尼热导原理:以常见的PSG系列为例,它属于皮拉尼真空计的一种。工作时先加热电阻丝,使其升温至需要的工作温度。由于气体粒子与电阻丝碰撞后离开时会带走能量,导致电阻丝的温度发生变化。而热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系。具体又分为两种方式,一种是稳定温度,测量施加的电压变化来等效测量真空度;另一种是稳定电压,测量温度变化来等效测量真空度。通过这种方式实现对真空度的间接测量。
2.电容薄膜规原理:如PCG系列的电容薄膜规,是基于压力使膜片变形,且变形量与压力大小成比例的关系来进行测量的。当被测真空环境中的压力作用于陶瓷膜片时,膜片会产生相应的形变,通过测量这个形变量就能够得知当前的真空度数值。
inficon真空计的测定步骤:
1.安装与连接
-真空连接:根据具体的型号和接口要求,将真空计正确地连接到被测系统的真空管道上。例如,某些型号可能需要拆卸磁铁单元(仅适用于带CF法兰的真空计)来进行安装。确保连接处密封良好,防止漏气影响测量准确性。
-电连接:完成真空连接后,进行电气线路的连接。按照说明书的要求,将真空计与相应的控制器或其他测量仪器连接起来,保证电源供应稳定且符合设备规定的电压、电流等参数。
2.开机预热与稳定:打开电源开关,此时真空计开始工作。在施加电源电压时会有测量信号产生,需要允许至少10分钟的稳定期,让设备内部的元件达到稳定的工作状态,以确保后续测量结果的准确性。