半导体超纯水主要用于生产超纯水过程中去除TOC有机物，降低TOC出水指标，使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。
半导体超纯水应用领域：
1.半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路板。
2.电解电容器生产铝箔及工作件的清洗。
3.电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液。
4.黑白显像管荧光屏的生产、波壳清洗、沉淀、洗膜、管颈清洗。
5.液晶显示器的生产、屏面清洗。
6.集成电路生产中高纯水清洗硅片。
7.LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏的生产。
1.处理水量：2~60m3/h
2.灯管配置：12~48支
3.灯管类型：85w/155w(185/254nm双波段)
4.石英套管：T＞80%@185nm
5.镇流器：50~100%输出功率可调
6.反应器材质：316L
7.洁净等级：内外电解抛光、表面光洁度10以上（≤Ra0.2）
8.法兰尺寸：DN50~DN200
9.额定压力：PN10
10.控制柜等级：IP55，碳钢喷塑
11.控制系统：本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统
12.UV强度传感器：分辨率0.01mw/cm2
