多元素分析仪是实验室元素分析的主力设备，通常指采用电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）或电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）技术的分析仪器。这类仪器具有灵敏度高、检出限低、线性范围宽、多元素同时分析能力强等突出优点，已成为水质、食品、环境、地质、生物、材料等领域痕量元素分析的标准方法，在科研、质检、环境监测等行业发挥着不可替代的作用。 ICP-OES的工作原理是利用高频感应产生的等离子体作为激发源，将雾化后的样品气溶胶引入等离子体中心通道，样品在高温等离子体中蒸发、原子化、激发，发射出元素的特征谱线，通过光谱仪分光检测各元素的特征谱线强度，实现定性和定量分析。ICP温度可达6000至10000K，足以使绝大多数元素充分原子化和激发，因此ICP-OES可以测定70多种元素，检出限在ppb至ppm级，是理想的元素分析手段。
ICP-MS在ICP基础上增加了质谱检测系统。等离子体产生的离子通过接口进入质谱仪，根据质荷比（m/z）分离检测。ICP-MS具有高的灵敏度，检出限可达ppt甚至ppq级，比ICP-OES低2至3个数量级。同时，ICP-MS可以测量同位素比，具有同位素分析能力。ICP-MS是目前元素分析中灵敏的技术，特别适用于痕量和超痕量元素分析。
多元素分析仪的主要技术特点包括：分析速度快，一次进样可在几分钟内测定几十种元素；线性范围宽，ICP-OES可达5至6个数量级，ICP-MS可达8至9个数量级，从痕量到常量都可以在一次校准曲线上测定；多元素同时分析，节省时间提高效率；谱线丰富，可选择无干扰的分析线；分析精度高，ICP-OES通常在1%以内，ICP-MS可达0.5%以内。
样品前处理是ICP分析的关键环节。固体样品通常需要消解转化为溶液，常用酸消解或碱熔融。消解过程需要去除有机质，避免碳沉积影响等离子体稳定性。酸消解常用硝酸、盐酸等，微波消解是高效的消解方式。液体样品可直接测定或适当稀释。样品溶液需要调节酸度，通常保持1%至5%的酸度，既防止元素水解，又不影响雾化效率。
干扰是多元素分析中需要重点关注的问题。光谱干扰包括谱线重叠、背景连续谱等，可通过选择替代分析线、背景校正、化学分离等方法解决。基体效应包括物理干扰（雾化效率、传输效率）和化学干扰（电离抑制、分子离子形成），可通过内标法、标准加入法、基体匹配法等方式校正。同量异位素干扰和双电荷离子干扰是ICP-MS的问题，需要采用碰撞反应池、高分辨质谱或数学校正等方法解决。
多元素分析仪在各行各业有着广泛应用。环境监测中，用于水质、土壤、大气颗粒物中重金属和微量元素分析。食品安全中，用于食品、农产品、饲料中有害元素和营养元素检测。地质冶金中，用于矿石、金属、合金中主次成分分析。生物医药中，用于生物样品、药物、试剂中杂质元素分析。半导体电子中，用于超纯材料、试剂、电子化学品中超痕量杂质检测。
