SJ6000
国产激光干涉仪具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。
为了避免激光损坏及设备故障，国产激光干涉仪通常会采取一系列的防护设计措施。这些措施主要集中在以下几个方面：
1、激光功率控制与保护
激光源通常具有一定的功率范围，超出此范围可能会导致激光损坏。为防止激光过载，激光源的功率控制设计至关重要。常见的激光功率保护措施包括：
激光功率调节器：通过调整激光源的输出功率，避免激光强度过高。功率调节器能够根据测量需求动态调整输出激光功率，防止激光器处于过载状态。
功率监控系统：安装功率传感器，实时监控激光源的功率输出。当功率超过设定范围时，系统会自动触发报警或关停机制，保护激光源不受损害。
自动关停系统：如果系统检测到激光功率异常，自动关停激光器，避免损坏激光源或光学元件。
2、环境保护设计
光学元件对环境条件非常敏感，尤其是温度、湿度、振动等因素。因此，环境防护设计显得尤为重要。常见的防护设计包括：
温湿度控制：工作环境通常需要保持在恒定的温湿度范围内。配备有温湿度监控系统，并通过空调、恒温箱等设备保持环境条件的稳定。
振动隔离：为了确保测量精度，通常安装有抗振动设计，如使用减震支架或安装在振动隔离平台上，减少外部震动对测量的影响。
防尘防污染设计：光学元件非常容易受到灰尘、油污等污染，影响其透光性和反射性能。为此，常常设计有封闭的光学组件舱，防止外界杂质进入系统。
3、光学元件的防护与维护
光学元件起着至关重要的作用，因此对光学元件的保护设计同样不可忽视。常见的光学元件保护措施包括：
防反射涂层：为了减少激光光束的损失和提高光学系统的稳定性，光学元件通常会采用防反射涂层。这种涂层不仅能提高透光率，还能避免因光学元件的损坏或污染导致的测量误差。
光学元件清洁与维护：光学元件在长时间使用后容易积尘或受到损伤。因此，定期的清洁和检查非常必要。高精度的激光干涉仪常配有专用的清洁工具，并规定定期维护和检查的周期。
