匀胶机的选购方法

　　匀胶机是在高速旋转的基材上，滴下各种胶液，利用离心力将滴在基材上的胶液均匀涂在基材上的设备，涂膜的厚度取决于匀胶机的速度和溶胶的粘度。匀胶机有一个或多个滴胶系统，可涂不同种类的光刻胶。滴胶方式有晶圆静滴胶或旋转滴胶两种。随着芯片尺寸的增大，出现多滴胶或移动滴胶口。

　　在选择匀胶机的时候要注意哪些方面，匀胶机是在基材高速旋转时，滴下各种胶液，利用离心力将滴在基材上的胶液均匀涂在基材上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的速度和溶胶的粘度。那么，大家知道怎么买匀胶机吗?

　　从其原理可以看出，购买匀胶机需要注意几个细节，旋转速度转速的快慢和控制精度直接关系到旋转涂层的厚度控制和成膜均匀性。如果电机的标记速度和实际速度相差很大，对于需要精密镀膜的研究人员来说，是不可能获得准确的实验数据的。国内一些均质机只能提供转速范围，不能标定实时转速。虽然大部分打胶机都能标定速度，但大部分的速度精度都不是标准确定的。建议购买速度控制有标识的标准。

　　真空吸附系统的构建真空泵要无油，压力标定精确，国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，就会导致基材吸附不能够产生“飞片”的情况，还会让胶滴不小心进入真空管道系统造成堵塞。用过国产匀胶机的客户经常关心如何清洁的问题，这方面国外很多匀胶机做得很好，他们都有联动机构，如果真空吸附力不够，就不会启动旋转。

　　材料选择对于半导体化工的应用来说，材料的选择尤为关键，大部分的匀胶机都是采用不锈钢或普通塑料材料制成的，因为这种材料的成本很低，不锈钢对于各种化工胶液都不是很好，塑料对于较高的温度和压力容易产生变形。如果这种变形导致托盘的位置失去水平，就会导致旋转时出现高低不平的状态。自然不能得到很好的旋涂效果。例如，模型是由聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯制成的。

　　以上就是关于购买匀胶机的情况。通过上面的内容我们可以知道，购买匀胶机要注意三个方面:一是转速，二是真空吸附系统的结构，三是材料。希望对大家有所帮助。