旋涂机是怎么样的？如何进行选购？

　　旋涂机顾名思义，是一种将胶水均匀涂在基材上的机器。有许多方法，如辊涂、浸涂、喷涂、旋涂等。各有利弊。不同的应用采用不同的胶合方法。其中，旋涂被广泛使用，因为它可以实现高均匀性，并且它是半导体微电子领域中光刻的通用方法。

　　旋涂机在运行时，不影响同房间的其他设备，保证其他设备的正常使用(如指针不漂移等);同时也不会受到同一个房间内其他设备运行产生的磁场的干扰，保证了实验结果的稳定可靠。

　　旋涂机工作原理是高速旋转基板，使滴在基板上的胶水在离心力的作用下均匀地涂在基板上。在各种溶胶-凝胶实验中经常使用旋涂机来制作薄膜，其厚度取决于不同胶水与基底之间的粘度系数，也与转速和时间有关。多可设置20个程序段，存储不同材料的制备过程，每个程序段可设置51种速度变化。电流参数具有断电保护功能。

　　那么如何选购合适的旋涂机?

　　目前，旋转涂布机市场品牌众多，良莠不齐。下面一起来了解。

　　1.转速：转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂的厚度控制和薄膜均匀性。如果电机的标注转速和实际转速与旋涂机图册误相差很大，要求精确镀膜的科研人员就不可能获得准确的实验数据。国内大多数低端旋涂机只能提供速度范围，无法校准实时速度。

　　2.真空吸附系统的结构

　　真空泵必须无油，且压力校准准确。国产无油真空泵真的不敢恭维。因为任何油污都有可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，就会导致基板吸附不上，产生“飞片”的情况，胶滴会意外进入真空管道系统，造成堵塞。用过国产旋涂机的客户，往往会关心如何清洗。许多国外旋转涂布机做得很好。它们有联动机构，如果真空吸附力不够，就不会开始转动。

　　3.材料的选择

　　对于半导体化学工业的应用，材料的选择尤为关键。国内的旋涂机大多采用铁板漆或者普通塑料材料，因为这种材料成本很低。如果这种变形导致托盘的位置失去水平，就会导致旋涂时高低不平的状态。自然，不能获得良好的旋涂效果。目前部分国外品牌使用天然聚丙烯或聚四氟乙烯(特氟隆)材料。这两种材料具有环保、节约资源、重量轻、强度高、耐冲击性好、经久耐用、花纹自然、光泽度好等优点。