选购旋涂机时需要注意的几个细节

　　旋涂机是将各种胶水滴在高速旋转的基板上，通过离心力使滴在基板上的胶水均匀地涂在基板上的设备，薄膜的厚度取决于旋涂机的转速和溶胶的粘度。

　　从其原理可以看出选购旋涂机时需要注意的几个细节：

　　1、旋转速度。转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂的厚度控制和薄膜均匀性，如果电机的标注转速与实际转速存在较大误差，要求精确镀膜的科研人员就不可能获得准确的实验数据。国内有些旋涂机只能提供速度范围，无法精确标定实时速度。虽然大部分进口的旋涂机都可以校准转速，但是大部分转速精度都没有得到国际标准的认可。建议购买的速度控制标准，如美国的NIST标准。

　　2、真空吸附系统的结构。真空泵必须无油，且压力校准准确。国产无油真空泵真的不敢恭维，因为任何油污都有可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，就会导致基板吸附不上，产生“飞片”的情况，胶滴会意外进入真空管道系统，造成堵塞。用过国产旋涂机的客户，往往会关心如何清洗。许多国外旋转涂布机做得很好。它们有联动机构，如果真空吸附力不够，就不会开始转动。

　　3、材料选择。对于半导体化学工业的应用，材料的选择尤为关键。大部分的旋涂机都是用不锈钢或者普通塑料制成的，因为这种材料的成本很低，不锈钢对各种化学粘合剂的耐腐蚀性不是很好，塑料在高温高压下容易变形。如果这种变形导致托盘的位置失去水平，就会导致旋涂时高低不平的状态。自然，不能获得良好的旋涂效果。比如美国的型号是天然的聚丙烯或者聚四氟乙烯。这两种材料具有环保、节约资源、重量轻、强度高、耐冲击性好、经久耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

　　旋涂机有一个或多个滴胶系统，可以应用不同种类的光刻胶。点胶方式是晶圆静止或旋转，随着晶圆尺寸的增大，出现多滴胶或移动胶滴。近年来旋涂机的发展趋势是在自动工作模式的旋涂机中加入预先涂有增粘剂的冷板和热板工艺模块，以增强光刻胶与晶圆的附着力。为了提高生产率，国外开发了各种工艺模块任意组合的积木，有的还配有胶膜自动测量监控装置。