Pfeiffer 旋片泵工作原理

Pfeiffer 旋片泵原理:
依据气体压缩时，其体积与压力之间的关系达到抽气效果。
其工作压强范围为101325~1.33×10-2（Pa）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。

旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外缘与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。


整个工作过程主要分为四个步骤，具体如下：
(1)真空系统连接由定子、转子、叶片、弹簧形成的空间V，当叶片转动时，空间V体积增大，因此系统内的压力会​​降低。如下图 a）

(2)叶片B转至进气口如图位置时，体积V到达值Vmax，此时V与系统隔绝。如上图 b）。
(3)当叶片继续转动时，该体积Vmax内的气体被压缩并推向排气口位置。如下图 c）。

(4)叶片进一步旋转时，气体进一步被压缩，因此压力增大，排气口打开，气体排出泵体。如上图 d）。

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