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聚焦智能控制、测量与信号处理 IEEE-ICMSP 2022在杭州开幕
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2026年04月24日 10:19:47 来源:工业之家 >> 进入该公司展台 阅读量:10
该设备利用高精度X射线技术,无损透视材料内部晶格结构,可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷,可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷,并自带算法,可以提供非标定制服务。
晶体x射线衍射测试主要关注点
通过XRT检测单晶硅内部是否有缺陷。
测试方案
对样品进行X光扫描,得到样品图片和详细数据¥针对X光图片进行分析,区分是否有缺陷。
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