如何选择装饰和工具镀膜设备中的真空系统

如何选择装饰和工具镀膜设备中的真空系统
一套成熟的真空系统在镀膜设备中扮演重要角色. 需要从镀膜质量, 生产安全和成本三个方面考量. 上海伯东德国 Pfeiffer 通过推荐合适的真空系统实现镀膜工艺过程中降本增效的作用.

理解镀膜工艺过程, 选择合适的真空系统, 提高镀膜质量
影响镀膜系统真空选型的因素
腔体尺寸: 腔体尺寸直接关系到真空泵的尺寸, 在相同的抽空时间的要求下, 越大的腔体需要配越大的泵, 也就是越大抽速的真空泵

循环时间(节拍): 循环时间我们又称之为节拍, 通常定义为在单位时间内的产出批次; 直接影响着镀膜设备的盈利能力; 所以说节拍也关系到泵尺寸大小的一个选择

压力: 需要达到什么样的目标真空度？压力决定着是选择单级泵, 多级泵以及是否需要配置分子泵; 此外还需要考虑某些气体, 在特定压力下对真空设备的影响; 更多的是在比较高的压力下的一些影响

工艺气体: 需要了解, 离开腔体及抽气管路的具体物质和它的物质的量; 真空设备必须和对应的气体种类和数量相匹配; 而且, 真空系统必须对有害物质具有防护的能力

温度: 在工具镀膜的应用中, 常常处于高温的条件下, 因此是否需要冷却, 以及所有安装的组件 - 不仅仅是真空系统, 是否需要冷却, 都是需要考虑的方面

放气: 腔体的内表面积越大, 包括腔体的自身的表面积和腔体内部的机械或者电子零部件的表面积以及这些表面的洁净程度; 都对应了他放气量的一个数值; 因此如果有大量放气的情况产生, 在选择真空系统的时候, 就必须要考虑到这一点

可能的真空抽气方案: 单级泵, 多级泵, 高真空度下配分子泵
高压力和低气载, 一般选单级泵 (油泵, 干泵).
低压力和高气载, 一般选多级罗茨泵组, 工具镀膜典型配置 Duo 65M + OKTA 500M 真空泵组
因 PVD 工艺压力 <1E-3mbar, 选择分子泵

如何选择合适的前级泵: 在您的应用场景中最重要的要求是？

如何选择合适的泵组: 先确认泵组需要实现的功能, 比如快速抽空, 在工艺压力下连续抽气
根据抽速, 目标时间, 目标压力来选择合适的型号, 并考虑由于管路流导损失和配件的影响, 抽速的损失在设计中也必须要考虑到.

如何选择合适的分子泵: 根据实际需要
更快的启动时间, 可以直接启动？还是免维护？
是更低的震动, 无工艺污染或者是粉尘堆积的耐受能力等等

上海伯东德国 Pfeiffer 提供2种类型的分子泵: 复合轴承技术和磁悬浮轴承的技术, 两种不同类型的分子泵各自有不同的性能特点:

随着工艺粉尘在生产过程中的不断累积, 需要对分子泵旋片受到的不平衡外力进行补偿, 也就是在磁悬浮轴承部分施加一个补偿, 方案是通过电磁控制做一个程度相对有限的一个调整.
这样对比, 就能得出复合轴承对粉尘的耐受能力更强的结论.
因为复合轴承技术没有产生额外的磁场, 所以不受到环境的外磁场干扰

上海伯东德国 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速 90,000 rpm, 极限真空 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>

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