2026年04月23日 10:02:02 来源：伯东企业（上海）有限公司深圳办事处 >> 进入该公司展台 阅读量：21
高真空分子泵对比
真空按真空度可划分为低真空, 中真空, 高真空和超高真空. 上海伯东提供适用于科研, 工业, 半导体等行业各类高真空系统解决方案. 根据客户腔体大小和真空工艺要求, 推荐抽速范围 10 至 4500 l/s 全系列进口分子泵, 几乎满足所有应用.
热门高真空分子泵
Pfeiffer 普发涡轮分子泵: 抽速范围 10 至 1900 l/s, 极限真空 10-7 hPa
特点: 任意角度安装, 具有高性价比和安装角度的灵活性, 对于小分子气体具有更高的压缩比
广泛应用于工业, 科研,分析市场.
抽速l/s | 10 | 30 | 67 | 300 | 380 | 685 | 790 | 1250 | 1500 | 1900 | |
低振动 | HiPace 10 Neo | HiPace 30 Neo | HiPace 80 Neo | - | - | - | - | - | - | - | - |
高排气量 |
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| HiPace 350 | HiPace 450 | HiPace 700 | HiPace 800 | HiPace 1200 | HiPace 1500 | HiPace 1800 | HiPace 2300 |
Edwards STP 磁悬浮分子泵: 抽速范围 300 至 4500 l/s, 极限真空 10-7 hPa
特点: 抽速范围广, 全磁浮设计, 无污染
适用于运行要求时间长,维护需求小且振动低的高真空应用, 广泛应用于半导体市场.
抽速l/s | 300 | 600 | 1000 | 1600 | 2200 | 3200 | 4000 | 4500 | |||
超高真空 | 301 | 451 | 603 | 1003 | - | - | - - | - | - | - | |
高排气量 | H301C | H451C | H803C | H1303C | - | - | - - | - | - | - | |
高排气量 |
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| A803C | A1303C | A1603C | A2203C | - - |
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高流量和高排气量 |
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| - | - | - | F2203C | XA2703C | XA3203C | XA4503C |
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振动小 | L301 | L451 | - | - | - | - | - |
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集成控制器 | iX457 | iXU457 | - |
| iS1607 | iS2207 | iXA2206 | iX3006 | iXA3306 | iXA4506 | iXA4507 |
上海伯东同时提供高真空系统所需的前级泵, 用于真空测量的真空规, 用于腔体密封性测试的氦质谱检漏仪, 反应过程气体分析的残余气体分析仪以及真空闸阀, 离子源等, 客制化提供高真空系统解决方案.
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