大面积高速3D激光扫描仪产品特点

Features & Benefits（性能及优势）：

高分辨无损伤光学3D测量                               自动倾斜补偿

实时共焦成像                                                 简单的数据分析模式

多种光学变焦                                                 双Z扫描

大范围拼接                                                    半透明基材的特征检测

实时CCD明场和共聚焦成像                            无样品准备

自动聚焦

Application field（应用领域）：

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如

-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案

-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析