探针接触式轮廓仪系统采用扫描探针显微镜光学杠杆位移检测技术和超平基准面大样品台扫描技术，与压电陶瓷（PZT）扫描结合。在不损失精度的情况下，可以获得超大样本的整体三维轮廓，呈现局部三维形状图像。采用超高平整度光学抛光平台扫描样品台参考平面，有效解决丝杠公差导致的测试结果亚微米误差。
1、探针接触式轮廓仪与扫描探针显微镜的结合。
2、双模式操作（扫描和样品台扫描）即使在远距离测量中也可以获得的小区域3D映射。
3、3D形貌测量在干涉级提供亚纳米分辨率。
4、在任何物镜放大倍数下都保证亚纳米垂直分辨率。
5、多种物镜可选，包括长工作距离物镜、玻璃校正物镜、水镜、油镜等
6、多环境测量，包括真空、大气、液体、透光窗、温湿度可控环境等。
探针接触式轮廓仪提供可重复、可靠和准确的测量：从传统的台阶高度测量和二维粗糙度的表面表征到的三维形态和薄膜应力分析，已被广泛接受为测量薄膜厚度、应力、表面粗糙度和形貌的黄金标准，并已应用于从学术研究到半导体过程控制的各个领域。
探针轮廓仪使用在表面上移动通过感测针的高度和波动来确定表面轮廓。探针轮廓仪可以测量高达LMM的高度。该轮廓仪的工作原理类似于留声机。通常，被测表面在探头下方移动，但探头也可能在表面上移动。探头的垂直运动由线性变化的差动变压器（LVDT）测量，然后将测量信号转换为高度数据。探头由硬质材料制成，例如金刚石。曲率半径在0.05μm和50μm之间，这决定了仪器的横向分辨率。
