蓄热式热氧化器又叫催化燃烧设备采用热氧化法处理中低浓度的有机废气，用陶瓷蓄热床换热器回收热量。其由陶瓷蓄热床、自动控制阀、燃烧室和控制系统等组成。其主要特征是：蓄热床底部的自动控制阀分别与进气总管和排气总管相连，蓄热床通过换向阀交替换向，将由燃烧室出来的高温气体热量蓄留，并预热进入蓄热床的有机废气；采用陶瓷蓄热材料吸收、释放热量；预热到一定温度（ ≥ 760℃ ）的有机废气在燃烧室发生氧化反应，生成二氧化碳和水，得到净化。 典型的两床式 RTO 主体结构一个燃烧室、两个陶瓷填料床和四个切换阀组成（见下图）。该装置中的蓄热式陶瓷填充床换热器可使热能得到限度的回收，热回收率大于 95% ；处理 VOC 时不用或使用很少的燃料。