2026年02月02日 08:23:00 来源:上海慕承科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:25
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BROOKS质量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1设计采用*可配置多气体/多量程功能,相较于竞争产品拥有更好的零点漂移参数并且经确证能够更持久地保持出厂校准状态和精度。
BROOKS质量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1产品优势:
优势:
BROOKS质量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1实物图:

BROOKS质量流量控制器SLA5850S1PCC1C2A1规格参数:
流量范围-满量程容量.003 - 2500 slpm
精度:
0.9% of SP (20-99% FS)
0.18% of FS (2-20% FS)
1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)
1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS
重复性:0.20% SP
响应时间-常闭:
0.003 - 100 slpm: <1 second
100 - 2500 slpm: <3 seconds
大压力:
.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar
Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device
控制范围:
1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.
50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.
零点稳定性:< 0.2% F.S. per year
温度系数:
Zero: <0.05% of F.S per oC
Span: <0.1% of S.P. per oC
压力系数:
0.03% per psi (0-200 psi N2)
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BROOKS质量流量控制器型号:
SLA5850
SLA5860
SLA5851
SLA5861
SLA5853
SLA5863
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