全自动探针台采用新开发的专有XY驱动系统，实现了高速，低振动。与现有产品相比，考虑到环境因设计变化而实现的占地面积小，功耗降低10％。本文将详细介绍如何对国产探针台进行调校与定位。
1. 准备工作
在进行任何调校与定位之前，首先需要做好充分的准备工作：
检查设备状态：确保探针台已正确连接电源，并且没有明显的物理损坏。
清理工作环境：保持测试环境的整洁，确保工作台面没有杂物，以防止外界干扰。
准备必要工具：如螺丝刀、水平仪、显微镜等辅助工具，帮助完成调校过程。
2. 调校步骤
调校探针台主要包括以下几个关键步骤：
2.1 确认水平
使用水平仪检查探针台是否处于水平状态。确保设备稳固，减少因倾斜带来的误差。
步骤：
在的不同位置放置水平仪，观察气泡是否在中心位置。
若发现水平不准确，调整支脚或底座，使其水平。
2.2 设置基准面
设置基准面是为了确保所有测量的起点一致。可以使用标准样板或参考工件：
步骤：
将标准样板放置在探针台的中心位置。
在软件中设置该样板为参考点。
2.3 定位探针
根据被测样品的特性，调整探针的高度与角度，以确保其能够准确接触到样品的测试点。
步骤：
先松开探针的固定螺丝。
通过手动或电子调节方式，逐步降低探针接近样品，确认探针尖部的位置。
使用显微镜观察探针与样品的接触情况，确保探针尖部正好接触到测试点。
2.4 调整探针压力
过大的压力可能会导致探针损坏或样品损坏，而过小的压力又可能导致接触不良。因此，调整探针的压力至关重要。
步骤：
在软件中设置探针接触压力，一般建议设置在适中的范围。
进行初步测试，观察探针是否能够稳定地保持与样品的接触。
2.5 验证调校效果
在完成初始调校与定位后，进行一系列验证测试，以确保所有参数设置都正确无误。
步骤：
多次进行测量，在不同区域测试，以确认探针的重复性与准确性。
记录测试数据，与预期结果进行对比，确保符合规范。
