直到19世纪末，六氟化硫(化学分子式为SF6)即使对于化学家来说也还是一种陌生的化合物。人们在自然界中未发现它的存在。

1900年法国Moisson和Lebeau***次用元素硫和氟气直接反应合成出SF6气体并对其物理化学性质进行了初步研究，发现SF6是一种可以与氮气和其他惰性气体相比拟的化学上极稳定的物质，而且具有优异的电气绝缘能力。

SF6气体检漏仪

本世纪三十年代后，随着科学技术的发展，SF6气体日益引起人们的兴趣和关注，并对其进行了大量的科学实验研究工作。

1937年法国***先将SF6应用于高压绝缘电气设备。西德在此期间也开始了该领域的研究工作，并于1964年推出台220KVSF6断路器。进入六十年代，SF6电器绝缘设备的性已为世人，各发达国家竞相研制开发该类型设备。法、日、西德、美国、瑞士等国的大型电气设备制造公司相继研制开发出多种类型和等级的SF6气体绝缘(GIS)设备。仅1971年至1976年世界生产之GIS设备就增长了近10倍。

以SF6为介质的电器有断路器，高压开关、电压互感器、电流互感器、避雷器、全封闭组合电器、变压器、充气电缆等几乎无所不包，电压等级已突破1000kV，至今其发展势头不衰。

我国六十年代开始研制SF6电气设备，各种等级型号的国产和进口设备陆续投入运行。进入八十年代机械电力部门已将SF6电气设备作为电网装备更新换代的主要目标。可以预见SF6电器设备在我国必将得到日益广泛的应用，具有广泛的发展前景。

此外，六氟化硫气体在高能物质领域也有重要应用，例如我国刚刚通过***验收(1987.8.14)的大型串列加速器，端电压13兆伏一次充入的绝缘气体(SF6)量为23吨。在铸造冶金行业，SF6作为新型的熔炼保护气氛业已普片应用。至于SF6早已在气象、环境部门(作为示踪气体)以及在医学方面(人工气胸)的应用则更不待言。