SF6气体纯度检测方法主要有气相色谱法、热导法、激光法。

1、气相色谱仪

气相色谱是基本事件差别的分离技术。将汽化的混合物或气体通过含有某种物质的管，基于管中物质对不同化学物保留性能不同而得到分离。这样就是基于时间差别对化合物进行分离，样品经过检测器后，被记录的色谱图，每个峰代表混合物样品中不同组分，峰出现的时间为保留时间，可恶意对每个组分进行定性，则峰的大小(峰高和峰面积)则是组分含量大小的度量。

(1) 检测器。高灵敏度热导检测器(TCD)。

(2) 载气。氦(氢)气，流速为30~40mL/min。

(3) 分离柱。硅胶/葵二酸二异辛脂、GDX-104、Porapak-Q等，长度1~3m，Φ3mm。

(4) 进样方式。六通阀定量进样。

HDSP-502 SF6气体纯度分析仪

根据DL/T 920-2005《六氟化硫气体中空气、四氟化碳的气相色谱法》采用气相色谱法测定空气、四氟化碳的含量。这里重点介绍空气、四氟化碳含量的检测。

SF6试样通过色谱柱，使得空气、四氟化碳分离，由热导检测器检测并由记录系统记录色谱图。根据标准样品的保留值定性，用归一化法计算有关组分的含量。

材料

(1) 载气。氦气或氢气，纯度不低于99.99%。

(2) 色谱柱。对所检测组分的分离度应满足定量分析的要求。常用的色谱柱为长2m，内径3mm的不锈钢钢管，内填60~80目的GDX-104担体(或合适的其他色谱定相)。

(3) 标准气体。应由国家计量部门的单位所配置的单一组分气体、多组分混合气体且具有组分含量检验合格证并在有效使用期。各组分的质量百分数应大于相应未知组分浓度的50%，或小于未知组分浓度的300%。

2、热导检测法

热导检测原理是利用不同物质的热传导系数(即导热能力)的不同进行气体浓度检测的。当气体流经热导池时，带走内部热电阻的热能力，使其阻值发生变化。不同气体导热能力的差别，使与之配合的电路将检测到不同的电信号，进一步得到气体浓度。

3、激光法

根据每种气体对固定波长的激光有较强的吸收，通过测量光强的减弱量来测量气体含量。其吸收关系服从朗伯-比尔吸收定律。