SF6新气应按国家标准的规定进行质量检验，检测项目有空气(N2、O2)、四氟化碳(CF4)、六氟化硫(SF6)纯度测试、SF6微水测试(H2O)、酸度(以HF计)、可水解氟化物(以HF计)、矿物油、毒性生物试验共8个项目，检测结果应符合GB/T12022的规定。

(1) 当SF6气体中湿度较大时，如果设备内发生电弧，SF6气体的电弧分解物在水分参与下会产生很多有毒物质，如SOF2,HF等，从而腐蚀断路器内部结构材料并威胁检修人员人身安全;另外.当湿度大时.随着温度的变化，在绝缘件的表面产生凝结水，造成沿面闪络.使其绝缘强度下降，威胁设备安全运行。

(2) 空气、四氟化碳、矿物油等杂质会降低绝缘和灭弧性能，电气设备在受到大电流、高电压、高温等外界因素的影响下，同时有氧气和水分存在时将产生有毒或剧毒的含氧低氟化物，这些杂质对人体危害很大，并且会腐蚀设备的金属部件和绝缘材料。

(3) 酸度的大小在一定程度上代表或象征着SF6气体毒性的大小，特别是酸性组分和水分同时存在时，有可能发生凝聚，将会严重危及电气设备的安全运行。

(4) 在SF6新气杂质中的含硫低氟化物.其中有些极易水解形成酸性或有毒物质，损害人体健康和设备运行安全。