目前，国内外SF₆微水监测技术的主要方法有:重量法、电解法、振动频率法、冷镜法、阻容法等。这些方法各有利弊，分别适用于不同情况，下面就这几种方法加以介绍。

HDWS-II SF6微水测试仪

1.1重***法

重量法是IEC推荐的仲裁法，是一种经典的测量方法。该方法让样气流经干燥剂，通过测量干燥剂吸收的水分量，与样气体积之比得到样气湿度。其优点是精度高，***大允许误差可达0.1;缺点是共体操作较困难，尤其是对于低湿度气体，同时浪费大量气体。因而只适合于测量露点一32℃以上的气体，实际上单纯利用该方法测湿度的仪器较少。

1.2电解法

将干燥剂吸收的水分经电解池电解成氢气和氧气排出，电解电流的大小与水分含量成正比，通过检测电流测得样气的湿度。该方法弥补了重量法的缺点，测量量程可达一80°C以下，且精度较好、价格便宜;缺点是电解池气路需要在使用前干燥很长时间，且对气体的腐蚀性及清洁性要求较高。

1.3振动频率法

将重量法中的干燥剂换用一种吸湿性的石英晶体，根据该品体吸收水分质量不同时振动频率不同的特点，让待测气体和标准干燥气流经该晶体，因而产生不同的振动频率差△f1和△f2,计算2频率之差即可得到样气的湿度。该方法其有电解法一样的优点，且使用前勿须干燥。

1.4冷镜法

冷镜法也是一种经典的测量方法。让气体流经冷凝镜，通过等压制冷，使得气体达到饱和结露状态，测量冷凝镜此时的温度即是样气的露点。该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度可达0.1°C;缺点是响应速度较慢，尤其在低露点时，达到平衡的时间甚至达数小时，同时该方法对样气的洁洁性和腐蚀性要求较高，否则会影响光电检测效果或产生“伪结露”造成测量误差。

1.5阻容法

阻容法是一种不断完善的湿度测量方法。利用一个高纯铝棒，表面氧化成一层超薄的氧化铝薄膜、其外镀一层多孔的网状金膜,金膜与铝棒直接形成电容,由于氧化铝薄膜的吸水特性,导致电容值随样气水分的多少而改变，测量电容值即可得样气的湿度.该方法的主要优点是测量量程可更低，响应速度非常快，因而多用于现场和快速测量场合;缺点是精度较差，不确定度多为土2-土3°C

HDWS-143 智能SF6露点测试仪

在我国多使用露点仪或基于电解法设计的微水测量仪。这些方法主要有3个缺点。

a.属于离线检测，不能实时反应sf6的当前湿度。sf6内水分结露点随断路器内、外温度，气体压力等环境条件的变化而改变，瞬时的高湿有可能带来严重后果。

b.耗气量大。以上提到的各种方法大多是将断路器内部sf6气体放出，使其流过仪器来检测湿度，这样在每次检测时都要耗费大量的sf6气体，同时外部仪器每次接入都会给sf6气体带来很多水分。

c.测试复杂，费时费力。每次测试都需要搬运仪器到现场、连接一导气管、安装阀门、等待传感器反应时间，在测试完后还要使用洁净干燥的气体***好为氮气)清洗系统，每次测试都要耗费大量的人力、物力和时间。